洁净室(Clean Room）是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均■能具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

洁净室的四大污染来源

①洁净室中的工具设备在运转的过程中会向洁净室空间扩散粒ω子。

②洁净室中的产品也会向洁净室空间扩散粒子。

③洁净室中的设施，例如地面、墙面、天花板等，一刻不停地扩散着粒子。

④洁净室中的人员是污染的主要来源，洁净室中的污染有80%都来自人员散发的粒子

洁净室的常用清洁方法

——真空法（湿法或□　干法）

——湿擦拭（拖擦或湿擦拭）

——用粘轮粘

这些洁净方法的效率与所擦拭之表面的实际情况息息相关。如果表面粗糙或凹凸不平，那么清除这些位置◆的粒子就较为困难。所以说洁净室的内表面要光滑。

清洁洁净室使用的真◎空吸尘方法有两种类型：湿法和干法。干真空¤吸尘法用真空喷嘴的喷射气流来克服粒子表面的附着力，从而将粒子从表面清走。

一、真空吸尘法

干法真空吸尘器是一种普遍应用的清洁方式，因为其费用相对较低。它不需要使用清洁剂，所以不会将污染物带入洁净室内。但要注意的『是，其排气若未经过滤的话，一定不能排入洁净室内。要解决这个问题，可以使用一外置的中央真空源或者在真空吸尘系统上安装一个带有高效或超高效过滤器的小型排风处理装置。该过滤器必须安装在马达█的后面，以确保马达产生的粒子不会扩散到洁净室中。

水与溶剂的粘度比空气要高的多。所以，液体对附着于表面上的粒子的拖拽力大得多。因此，当使用湿法真空系统时，其额外的拖拽力▼会大大提高抽集粒子的效率。

由于在使用湿法真空吸尘系统中要使用清洁剂，而清洁剂可增加对粒子的≡拖拽力，所以湿法真空吸尘系统比干法真空系统效率更高。湿法真空吸尘一般比湿拖布擦拭更为有效，因为清洁后地板留下的待干液体更少，所以地板留下的污染物更少，而且地板干燥的时间也更短。

二、湿擦拭法

使用抹布或拖布加上液体对洁净室表面进行湿擦拭.是清洁洁净室表面的有效方法。其所◣使用的液体可以破坏粒子与表面的附着力，从而使粒子№脱离开表面。使用活性剂时尤其如此。但有很多粒子在使用这类液体后仍然会附着表面，所以还必须借助拖布或抹布中的纤维推动粒子，使其与表面分离。粒子从表面清除掉之后，就滞留在抹布中，湿抹布清除粒子的效率比干抹布高，因为液体溶液中存在着的拖拽力要大得多。有些抹布或拖布的清洁效率更高。抹布或拖布是靠推动或拖拽粒子进行清洁并清除粒子的，所以细纤维材料做成的抹布或拖布比块状固体材料的抹布清洁效率更高。

（1）拖布

清洁洁净室常常使用拖布和一个桶。不能使用家用的线拖布，因为它会散发出大量的污染。拖布的清洁材料是用表面不易破损的材料制造的。其制造材料有PVA、带孔发泡聚■乙烯或聚氨酯纤维。这些材料对灭菌、消毒剂、溶剂的兼容性需要进行检验，因为有的材∮料可能不合适。桶要用塑料或不锈网材料制造。将桶内放入含有清洁剂或消毒剂的水，就可以使用拖布对洁净室进行清洁了。但用这种方法所能达到的洁净度水平，可能还不能㊣满足某些洁净室的要求。因为，从地板上清除掉的尘埃会又涮入桶中，然后又被沾回到地板上。不断更换桶中的溶液，就可以解决这一问题。

（2）抹布

可用经过洗涤液或消毒液蘸湿的抹布，擦拭洁净室的表面以清除污染。抹布也可用来擦去洁净室生产出来←的产品上所沾的污染，也可用来擦干溅出来的拖布液。在洁净室中不能使用一般的家用抹布，因为家用抹布的粒子浓度、纤维含量、化学污染都⊙很高，并会残留在其擦拭的表面上。对抹布的选择要根据洁净室内的污染情况而定。可以清除表面上所有污染的完美抹布是没有的。选择抹布是在各种因素间的一种妥协。知道抹布使用〒的场合，抹布特性之重要程度购买抹布的预算金额，就可以选择出适合于具体工作的最好抹布。选择抹布时要予以考虑的特性如下：

 ? 吸水性            

抹布的吸水性是一个重要指标。抹布常常用来擦去溅洒物质或进行类似的清洁工作，因此必须了解抹布的吸水性。既要了解其吸水量（能够吸收的液体量），也要◣了解其吸水速率（吸收液体有多快）。这种特性〓在污染控制中也是重要的。具有良好吸水性的抹布留在表面的污染，比吸水性差的抹布少。如果用抹布擦拭洁净室的表面后几乎没有留下什么液体的话，则留下的粒子也会更↘少。

? 抹布造成的污染

洁净室抹布是洁净室内最脏的物品之一。与家用抹布相比，洁净室抹布是干净的。但一块抹布所〇含的粒子数量，可以是室内全部空气所含粒子的很多倍。所以，必须选择粒子量低的抹布。另外还应注意抹布的▲边缘，抹布边缘粗糙会产生纤维和粒子的污染。在抹布处于湿的状态时，抹布内的可溶物质都会溶解。用抹布擦拭时，这些物质就有可能▃转移到所擦拭的表面。能够由水或溶液浸出的物质称为“浸出物”。在半导体工业中应特别注意的浸出物是金属离子。为此，通过检验抹布中浸出物的数量和类型，就可ξ确定最适合于某项具体工作的抹布。

? 抹布的其他性能

应予以考虑的抹々布的其他性能有：纺织品强度、耐磨性、静电（或抗静电）特性、灭菌上述所有特性，均可按照美国环境科学与技术学会的推荐准则RP-CC004进行测试。

（3）粘轮

“粘”轮清ξ　除粒子的效率取决于滚轮表面粘力的大小。滚轮表面的粘力越大，清除的粒子越多。其他的一些因素，例如滚轮表面的『柔软性，也会影响清除效率。因为良好的表面柔性可使滚◇轮与粒子表面接触更好，从而提高清洁效率。粘轮的大小和形状与家用油漆轮相似，不过是在滚轮外层装有粘性材料。当滚轮滚过洁净︼室时，粒子就被粘到滚轮的粘性表面上。

洁净室的清洁流程

? 换上专用的防静电服，戴上帽子和口罩，经缓冲〓间除尘后，进入洁净室；

? 准备好清洁工具，并将它们放置∩在指定的位置后，开始清洁工作；

? 按照生产线的顺序从内到外，逐一捡拾地面垃圾；

? 准时将垃圾倒入垃圾箱并进行检查。按规定▅严格分类后，由生产线管理员或保安人员检查后，运至指定的垃圾房分类；

? 使用干净的纸或无尘布从上到下清洁室内玻璃，墙壁，货架；

? 使用除尘器推动灰尘╱，并从内向外仔细清洁地面。如∞果地面上有垃圾，污渍，水印等，请及时用无尘布清洁；

? 在员工的休息和就餐时间，清理生产线、工作台下和椅子下；

? 定期清洁天→花板、空调通风口、吸顶灯隔罩和高架地板下，清洁程序和使用的材料必须经过工厂部门的批准，并按计划使用节假日∏和休息时间进行清洁；

? 必须严格按照计划和洁净室清洁程序对洁净室进行地板打蜡，并且必须使用抗静电蜡；

? 清洁工作完成后，所有清洁用品必须存放在指定的清洁室中，并与普通工具分开存放，以免发↙生交叉污染，整齐放置，不要随意乱放。